昨天我們公司其他的工程師約我一起聽廠商簡報，這家廠商是做虛擬量測VM(Virtual Metrology)的公司。這個VM和電腦的VM(Virtual Host)不同，在這邊說明記錄一下，以免日後我忘了。
什麼是虛擬量測呢？透過已知的量測資料，輸入建立的預測模型，就可以得知兩次量測間的虛擬量測資料。比如說，每四個小時進行一次量測，預測模型已經建立完成，輸入兩次的量測資料，兩次量測中間相關的量測預測資料就可以取得。透過虛擬量測技術，可以減少量測機台的購買數量，也可以減少量測的工時，增加產出。目前半導體廠已經有導入的實績(reference site)。當虛擬量測值和實際量測值出現差異時，表示有相關的變數沒有被監控到，將相關的變數加入預測模型即可，虛擬量測平台是一個學習機制，透過不斷的輸入、預測、修改，讓預測模型越來越趨近實際值。有了這個系統，可以讓片片檢測，變成抽測，降低抽測間lost control的風險，加外可以結合SPC。
這套虛擬量測系統有幾個指標，第一個是信心度指標(RI reliability index又譯可靠度指數)，第二個是GSI(相似度指標~我不知道原文是什麼)，透過這兩個指標的feedback，判定實際生產時是否發生異常，我覺得機制相當的smart。
機台參數，分成重要不可調，重要可調，不重要可調等等，mapping到資訊系統，也一樣的啦！
從SPC(統計製程管制)到APC(advanced process control，先進製程指標)是很大的進步，有了SPC之後，可以在事後發現異常，是一種落後指量，而APC呢？在製造的過程中，即時收入量測值，進行機台參量的自動微調，算是即時指標。
APC是一個knowleadge bace平台，透過製程經驗，讓系統知在什麼情況下，進行什麼樣的調，才可以讓生產量測值在管制界線內，簡而言之，又一個condition base的decision system。APC很多半導廠商有在用，成本相當的高，因為系統要介入機台生產的行為，機台需要相對應的能力，另外可以減少製程工程師的負擔，不需要隨時monito落後的量測數據，再進行機台調整，亦可以減少不量產出發生的機率。
想到這裡我就有一個「幹」字，某次軟體商來presentaion，中間有提到APC，我目前廠內還沒有SPC，經由SPC可以累績相關的經驗，我們家大老闆說，他不要經過SPC，要直接導APC，還說我知道什麼是跳島戰術？直接導APC，速度才會快。TMD，跳島戰術，是麥帥發明的戰法，我知道，我怎麼會不知道，我的史地是被鞭出來的！但是我不想讓他沒有面子，算了！我忍了！
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