名詞解釋:虛擬量測

昨天我們公司其他的工程師約我一起聽廠商簡報,這家廠商是做虛擬量測VM(Virtual Metrology)的公司。這個VM和電腦的VM(Virtual Host)不同,在這邊說明記錄一下,以免日後我忘了。

什麼是虛擬量測呢?透過已知的量測資料,輸入建立的預測模型,就可以得知兩次量測間的虛擬量測資料。比如說,每四個小時進行一次量測,預測模型已經建立完成,輸入兩次的量測資料,兩次量測中間相關的量測預測資料就可以取得。透過虛擬量測技術,可以減少量測機台的購買數量,也可以減少量測的工時,增加產出。目前半導體廠已經有導入的實績(reference site)。 Read more

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