昨天我們公司其他的工程師約我一起聽廠商簡報，這家廠商是做虛擬量測VM(Virtual Metrology)的公司。這個VM和電腦的VM(Virtual Host)不同，在這邊說明記錄一下，以免日後我忘了。
什麼是虛擬量測呢？透過已知的量測資料，輸入建立的預測模型，就可以得知兩次量測間的虛擬量測資料。比如說，每四個小時進行一次量測，預測模型已經建立完成，輸入兩次的量測資料，兩次量測中間相關的量測預測資料就可以取得。透過虛擬量測技術，可以減少量測機台的購買數量，也可以減少量測的工時，增加產出。目前半導體廠已經有導入的實績(reference site)。 Read more