名詞解釋:虛擬量測

昨天我們公司其他的工程師約我一起聽廠商簡報,這家廠商是做虛擬量測VM(Virtual Metrology)的公司。這個VM和電腦的VM(Virtual Host)不同,在這邊說明記錄一下,以免日後我忘了。

什麼是虛擬量測呢?透過已知的量測資料,輸入建立的預測模型,就可以得知兩次量測間的虛擬量測資料。比如說,每四個小時進行一次量測,預測模型已經建立完成,輸入兩次的量測資料,兩次量測中間相關的量測預測資料就可以取得。透過虛擬量測技術,可以減少量測機台的購買數量,也可以減少量測的工時,增加產出。目前半導體廠已經有導入的實績(reference site)。當虛擬量測值和實際量測值出現差異時,表示有相關的變數沒有被監控到,將相關的變數加入預測模型即可,虛擬量測平台是一個學習機制,透過不斷的輸入、預測、修改,讓預測模型越來越趨近實際值。有了這個系統,可以讓片片檢測,變成抽測,降低抽測間lost  control的風險,加外可以結合SPC。

這套虛擬量測系統有幾個指標,第一個是信心度指標(RI reliability index又譯可靠度指數),第二個是GSI(相似度指標~我不知道原文是什麼),透過這兩個指標的feedback,判定實際生產時是否發生異常,我覺得機制相當的smart。

機台參數,分成重要不可調,重要可調,不重要可調等等,mapping到資訊系統,也一樣的啦!

從SPC(統計製程管制)到APC(advanced process control,先進製程指標)是很大的進步,有了SPC之後,可以在事後發現異常,是一種落後指量,而APC呢?在製造的過程中,即時收入量測值,進行機台參量的自動微調,算是即時指標。

APC是一個knowleadge bace平台,透過製程經驗,讓系統知在什麼情況下,進行什麼樣的調,才可以讓生產量測值在管制界線內,簡而言之,又一個condition base的decision system。APC很多半導廠商有在用,成本相當的高,因為系統要介入機台生產的行為,機台需要相對應的能力,另外可以減少製程工程師的負擔,不需要隨時monito落後的量測數據,再進行機台調整,亦可以減少不量產出發生的機率。

想到這裡我就有一個「幹」字,某次軟體商來presentaion,中間有提到APC,我目前廠內還沒有SPC,經由SPC可以累績相關的經驗,我們家大老闆說,他不要經過SPC,要直接導APC,還說我知道什麼是跳島戰術?直接導APC,速度才會快。TMD,跳島戰術,是麥帥發明的戰法,我知道,我怎麼會不知道,我的史地是被鞭出來的!但是我不想讓他沒有面子,算了!我忍了!



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